中吉國際項(xiàng)目管理 對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)，于2024-01-03在 公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項(xiàng)目概況:無掩模光刻機(jī)（進(jìn)口設(shè)備）具體內(nèi)容詳見招標(biāo)文件資金到位或資金來源落實(shí)情況:已到位，銀行貸款項(xiàng)目，已落實(shí)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項(xiàng)目編號:2125-244zjgjg0103招標(biāo)項(xiàng)目名稱: 吉林師范大學(xué)重大設(shè)備貸款項(xiàng)目（十二）（三次）項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國吉林省招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術(shù)規(guī)格	備注
1	無掩模光刻機(jī)（進(jìn)口設(shè)備）	1套	1、配備405nm激光光源，功率不小于3mW，壽命長于10000小時(shí)； *2、最小分辨率不低于300nm,至少支持300nm、600nm、900nm光學(xué)分辨率，要求軟件直接控制各分辨率模塊的切換； 3、配備650nm波長紅外聚焦系統(tǒng)，保證光刻過程的實(shí)時(shí)聚焦； 4、配備分辨率不低于1μm的攝像模組，保證優(yōu)于500nm的套刻精度； *5、至少支持4096階的灰度光刻； 6、配備ECM灰度面型補(bǔ)償功能，保證灰度光刻工藝的穩(wěn)定性； 7、配備高精度的光柵尺，定位分辨率不低于2nm，保證較好的光刻精度，CD均勻性優(yōu)于50nm，邊緣粗糙度優(yōu)于30nm，平臺運(yùn)動直線度優(yōu)于1u@150mm； 8、最大曝光面積不小于150mm*150mm 9、支持基板尺寸范圍至少包括5mm*5mm~160mm*160mm； 10、要求Z方向自動聚焦，支持襯底厚度至少在0~10mm； 11、項(xiàng)目管理軟件需支持在線畫圖(如各種類型光柵，透鏡等)； 12、支持?jǐn)?shù)據(jù)格式須包括DXF,GDSII,BMP,TIFF。 *13、支持免繪圖模式曝光功能。 14.溫控防塵系統(tǒng):要求溫度控制<±0.5℃,潔凈等級class100； 15、需要在中國要有售后服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)和同類型設(shè)備的實(shí)驗(yàn)中心提供技術(shù)支持。	/

3、投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:3.1如果投標(biāo)人所投的貨物不是投標(biāo)人自己制造的需提授權(quán)書，制造商直接授權(quán)需提供制造商出具的有效授權(quán)書，非制造商直接授權(quán)的需提供制造商國內(nèi)逐級代理商的有效授權(quán)書；3.2 投標(biāo)人是響應(yīng)招標(biāo)、已在招標(biāo)人或招標(biāo)機(jī)構(gòu)處領(lǐng)購招標(biāo)文件并參加投標(biāo)競爭的法人或其他組織。任何未在招標(biāo)機(jī)構(gòu)處領(lǐng)購招標(biāo)文件的法人或其他組織均不得參加投標(biāo)。3.3 除非另有規(guī)定，凡是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿(mào)易往來的國家或地區(qū)(以下簡稱“合格來源國/地區(qū)”)的法人或其他組織均可投標(biāo)。3.4 與招標(biāo)人存在利害關(guān)系可能影響招標(biāo)公正性的法人或其他組織不得參加投標(biāo)。3.5 接參與項(xiàng)目前期咨詢和招標(biāo)文件編制的法人或其他組織不得參加書（附單位負(fù)責(zé)人和授權(quán)代表身份證）。3.13.法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件。是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以4、
未曾在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載投標(biāo)文件！

項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊  
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