中國原子能科學研究院ICP工藝系統(tǒng)采購

招標公告

1 招標條件

本招標項目中國原子能科學研究院ICP工藝系統(tǒng)采購已審批，資金來源已落實。

2 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號

CNSC-21401Y021729

2.2 招標項目名稱

中國原子能科學研究院ICP工藝系統(tǒng)采購

2.3 招標項目概括

本項目對一套ICP刻蝕工藝系統(tǒng)進行非標研發(fā)，用于φ50~200mm尺寸規(guī)格的GaN、SiO2、SiNx材料晶圓的多功能刻蝕。

2.4 招標范圍

ICP刻蝕工藝系統(tǒng)一套，系統(tǒng)需采用模塊化設計，包括工藝模塊、傳輸模塊和軟件智能操控，可實現(xiàn)對腔室內(nèi)等離體密度的均勻控制，φ50~200mm尺寸規(guī)格的GaN、SiO2、SiNx材料晶圓的多功能刻蝕工藝要求。

交付成果包括：（1）ICP刻蝕工藝系統(tǒng)裝置實物；（2）相關(guān)技術(shù)文件、設計說明書、圖冊和報告等；（3）質(zhì)保資料：質(zhì)量計劃；出廠證明；合格證；裝箱單。

2.5 交貨地點

北京市中國原子能科學研究院院內(nèi)指定位置。

2.6 交貨期

（1）合同簽訂后15個工作日內(nèi)，提交系統(tǒng)設計圖冊及工藝開發(fā)方案。

（2）合同簽訂后90天內(nèi)，完成系統(tǒng)硬件和工藝流程的源地驗收。

（3）合同簽訂后120天內(nèi)，完成系統(tǒng)現(xiàn)場安裝調(diào)試、合格鑒定及交付驗收。

2.7 質(zhì)量標準

質(zhì)保期：

ICP刻蝕工藝系統(tǒng)的質(zhì)保期為自項目驗收合格起2年；

質(zhì)保期內(nèi)廠商應免費保修，非人為因素引起的儀器損壞由廠商免費負責維修；并終身提供技術(shù)服務。

3 投標人資格要求

3.1 本次招標投標人應滿足以下要求：

（1）在中華人民共和國境內(nèi)擁有合法經(jīng)營權(quán)力，具有獨立的法人資格，符合國家有關(guān)規(guī)定，有資格和能力完成本招標項目的相關(guān)人員、設備、財務、技術(shù)能力。

（2）投標人應遵守中華人民共和國法律、法規(guī)以及相關(guān)行業(yè)的規(guī)定。

（3）財務狀況：投標人須有良好的銀行信用和商業(yè)信譽，不得處于破產(chǎn)、停業(yè)、財產(chǎn)被接收或凍結(jié)等任何不利于合同目的實現(xiàn)的情形，財務狀況良好。

（4）本項目不接受代理商投標。

（5）近三年投標人至少具有一個類似項目供貨業(yè)績，投標時須提供業(yè)績證明材料并蓋公章。

（6）本項目不接受聯(lián)合體投標。

3.2 本次招標不接受聯(lián)合體投標

4 招標文件的獲取

4.1 招標文件售價：本項目共1個包，招標文件售價人民幣包1:中國原子能科學研究院ICP工藝系統(tǒng)采購售價:500.00元整，售后款項不予退還。

招標代理機構(gòu)收款 開戶 收款

未曾在中國電力招標采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據(jù)招標公告的相說明下載招標文件！

項目 聯(lián)系人：李工  
咨詢電話：010-51957458 
傳真：010-51957412 
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備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務費后，查看項目業(yè)主，招標公告，中標公示等，并下載資格預審范圍，資質(zhì)要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內(nèi)容為準，以招標業(yè)主的解答為準本。

來源：中國電力招標采購網(wǎng)?編輯：ecp.cnnc