序號

貨物名稱

數(shù)量

簡要技術(shù)規(guī)格

交貨期

交貨地點(diǎn)

聚焦離子束掃描電鏡微納加工站

1套

如下

合同簽訂后6個月內(nèi)交貨或者接到買方通知后3個月內(nèi)發(fā)貨

關(guān)境外貨物：

CIP上海交通大學(xué)指定地點(diǎn)

關(guān)境內(nèi)貨物：

上海交通大學(xué)指定地點(diǎn)

1

聚焦離子束掃描電鏡微納加工站

1臺

具有肖特基熱場發(fā)射電子槍。

（詳見第八章）

2

納米機(jī)械手

1臺

納米機(jī)械手移動的最小步長≤100 nm。

（詳見第八章）

3

氣體注入系統(tǒng)

1臺

單支GIS的壽命≥100 h。

（詳見第八章）