中工國(guó)際招標(biāo) 對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2020-08-03在 公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:電子束光刻機(jī)，項(xiàng)目采購(gòu)預(yù)算金額：1500萬RMB
資金到位或資金來源落實(shí)情況:已落實(shí)
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備
2、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):1675-20420071223d
招標(biāo)項(xiàng)目名稱:北京元芯碳基集成電路研究院電子束光刻機(jī)
項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó) 產(chǎn)品名稱 數(shù)量 簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格備注1 電子束光刻機(jī) 1套 #2.5.1 加速電壓為100kV，寫場(chǎng)尺寸為100μm 下，最小線寬不大于 8nm；寫場(chǎng)尺寸為1mm 下，最小線寬不大于15nm。 *2.5.2 100kv 加速電壓下，主場(chǎng)畸變： - 不大于±10nm @ 500um 寫場(chǎng) - 不大于±15nm @ 1mm 寫場(chǎng) 2.5.3 束電流漂移不大于±0.5%/h（開環(huán)測(cè)量） *2.5.4 曝光Dose調(diào)節(jié)范圍：32bit（2^32級(jí)） #2.5.5 100kV 加速電壓下，拼接精度： - 不大于±15nm @ 250um 寫場(chǎng) - 不大于±30nm @ 1mm 寫場(chǎng) *2.5.6 100kV 加速電壓下，直寫模式的套刻精度： - 不大于 ±5nm @200um 寫場(chǎng) - 不大于 ±10nm @1mm 寫場(chǎng) *2.5.7自動(dòng)尋找50 個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記時(shí)間不大于90s交貨期：合同生效并收到預(yù)付款后12個(gè)月，最遲開始調(diào)試驗(yàn)收的日期不早于2022年12月30日。
3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):A、投標(biāo)人須具有獨(dú)立法人資格，生產(chǎn)或經(jīng)營(yíng)范圍應(yīng)包含擬投設(shè)備；
B、投標(biāo)同型號(hào)產(chǎn)品近三年內(nèi)的使用業(yè)績(jī)，并提供證明文件。
C、同一生產(chǎn)廠家只允許授權(quán)一家代理商參加投標(biāo)。
是否接書”原件及被授權(quán)人身份證復(fù)印件加蓋公章；
C、代理商證明，產(chǎn)品制造商針對(duì)本項(xiàng)目的產(chǎn)品授權(quán)書同時(shí)提供生產(chǎn)廠家投標(biāo)產(chǎn)品的證明材料復(fù)印件加蓋公章。
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)對(duì)報(bào)名資料的審驗(yàn)并不作為投標(biāo)單位資格條件的最終認(rèn)定，投標(biāo)單位應(yīng)對(duì)資料的真實(shí)性、合規(guī)性負(fù)責(zé)；開標(biāo)后，仍將由評(píng)審委員會(huì)對(duì)投標(biāo)單位的資格證明材料進(jìn)行資格審核，不符合投標(biāo)資格條件的投標(biāo)單位的投標(biāo)將被拒絕。

未曾在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載投標(biāo)文件！

項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊  
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